Optinės mikrolitografijos kaukių formavimo technologijų vystymas naudojant eksponavimą bei abliaciją aštriai fokusuotu lazerio pluoštu (LaserMask)

   

Projekto nr.: 09.3.3-LMT-K-712-10-0214

Projekto aprašymas:

Formuojant mikrostruktūras, kurių realizavimas yra suderinamas su planarinėmis litografijos technologijomis, daugeliu atvejų pakanka ultravioletinės srities kontaktinės litografijos raiškos. Ši lygiagretaus eksponavimo technologija pasižymi dideliu našumu, tačiau ja formuojamas raštas yra visiškai priklausomas nuo naudojamos eksponavimo kaukės. Kokybiška UV litografijos kaukė yra praktiškai didžiausias apribojimas pastarajai technologijai. Kaukės yra formuojamos naudojant specializuotas litografijos technologijas ir kiekvieną kartą norint pagaminti naują struktūrą reikalinga nauja kaukė. Lazerinės tiesioginio eksponavimo sistemos yra viena iš alternatyvų, nes jos leidžia formuoti laisvai pasirinktą vaizdą ir nereikalauja kaukių, tačiau tuo pačiu turi ir akivaizdų trūkumą: tai yra nuoseklaus eksponavimo technologija.
Šios praktikos TIKSLAS – pasiūlyti konkurencingą UV litografijoje naudojamų kaukių formavimo technologiją pritaikant eksponavimą fokusuotu lazerio pluoštu bei abliaciją femtosekundiniu lazeriu. Praktikos metu studentas susipažins su pažangiausia analitine bei technologine įranga: švariojo kambario mikro-/nanolitografijos technologijomis, originaliu lazerinio eksponavimo fokusuotu pluoštu stendu, lazerine mikro/nano apdirbimo femtosekundiniu lazeriu sistema; parinks lazerinio poveikio sąlygas užtikrinančias geriausią formuojamų kaukių kokybę; suprojektuos ir realizuos piešinį (kaukę UV litografijai) su mikrometrinių matmenų struktūromis skirtomis dujų jutikliams ir optinėms apsaugos nuo padirbinėjimo priemonėms. Studentas dalyvaus UV litografijos eksponavimo eksperimentuose ir naudojant raiškias mikroskopijos priemones apibūdins kaukės ir ja eksponuotų struktūrų kokybę. Praktika užtikrins kokybiškesnes bakalauro studijas ir tuo pačiu paskatins studentą tęsti mokslus II-oje studijų pakopoje, bei įsilieti į aktualius mokslinius tyrimus vykdomus KTU. Praktikos metu gautus rezultatus studentas pristatys mokslinėje konferencijoje.

Projekto finansavimas:

ES struktūrinių fondų projektas, finansuojamas Europos socialinio fondo lėšomis pagal 2014–2020 metų Europos Sąjungos fondų investicijų veiksmų programos priemonę Nr. 09.3.3-LMT-K-712 „Mokslininkų, kitų tyrėjų, studentų mokslinės kompetencijos ugdymas per praktinę mokslinę veiklą“.


Projekto rezultatai:

Pasibaigus praktikai bus paruoštas Lazerinės litografijos naudojimo optinės litografijos kaukių formavimui vadovas. Mokslinius rezultatus planuojama skelbti nacionalinės arba tarptautinės konferencijos tezėse.

Projekto įgyvendinimo laikotarpis: 2018-10-01 - 2019-04-30

Projekto koordinatorius: Kauno technologijos universitetas

Vadovas:
Tomas Tamulevičius

Trukmė:
2018 - 2019

Padalinys:
Fizikos katedra, Matematikos ir gamtos mokslų fakultetas, Medžiagų mokslo institutas

We are using cookies to provide statistics that help us give you the best experience of our site. You can find out more or switch them off if you prefer. However, by continuing to use the site without changing settings, you are agreeing to our use of cookies.
Sutinku