Kietojo oksido mikro-elementai (mikro-KOKE) yra trijų pagrindinių elementų sistema: anodo (kuro elektrodo), kietojo oksido elektrolito, katodo (oro elektrodo), kuriuose vyksta elektrocheminės reakcijos, bet, skirtingai nuo klasikinių KOKE, elektrodai suformuojami ant silicio pagrindo. Dažniausiai mikro-KOKE kuriami taikant mikrogamybos ar mikroelektromechaninių sistemų (MEMS) gamybos technologijas. Procesas apima paviršiaus mikroapdirbimo procesus: litografiją, sauso ir šlapio ėsdinimo technikas bei plonų sluoksnių formavimo technologijas. Mikro-KOKE sudaro kuro elemento membrana, dažniausiai suformuota ant silicio padėklo. Anodo-elektrolito-katodo daugiasluoksnės struktūros membranos storis yra apie vieną mikrometrą, vadinasi, reikalingi plonų sluoksnių gamybos metodai, kurie leidžia suformuoti reikiamomis savybėmis pasižyminčius sluoksnius iki kelių šimtų nanometrų storio. Atsižvelgiant į tai, projektavimas ir geometriniai sprendimai mikro-KOKE gamybos procese bei medžiagų savybės nanometriniame lygmenyje yra itin svarbūs.
Projekto rezultatai:
Šios praktikos darbo metu, naudojant vakuuminį garinimą elektroniniu spinduliu, bus suformuotas vienas iš mikro-KOKE elektrodų – elektrolitas – plonas samario oksidu legiruotas cerio oksido sluoksnis ant skirtingų padėklų bei ištirtos struktūrinės, morfologinės suformuotų plonų sluoksnių savybės.
Projekto įgyvendinimo laikotarpis: 2019-07-01 - 2019-08-31
